Спектроскопический эллипсометр SE 801

-         Прибор создан на основе детектора с диодной  матрицей

-         Быстрое получение результатов (мин. 100 мсек. на 1024 точки)

-         Полный спектр

-         Прибор позволяет отслеживать кинетические процессы (напр. наращивание, травление) в сложных структурах в режиме реального времени в различных условиях

Спецификация

-   диапазон волн: 350 – 850 нм (опция: 280 – 850 нм)

-   время получения результатов - мин. 100 мсек.

-   источник света: ксеноновая лампа, 75 Вт

-   детектор с диодной матрицей, 1024 точки

-  Набор переходников для установки прибора на реакторной камере

-  Регулировка высоты луча

-  Увеличительный  окуляр

Программное обеспечение SPECTRARAY II на базе Windows для получения, прогнозирования и моделирования результатов, настройки прибора

Опции

- инструмент для установки и смены насадок эллипсометра

- гониометр (шаг изменения угла наклона - 5⁰, столик для образцов на 150 мм в поперечнике)