SE 400-300, SE 500-300, SE 800-300

- фиксированный угол наклона

- высокая воспроизводимость значений толщины слоя, индекса преломления, автофокус (опция), большое количество предписанных приложений

- библиотека материалов

- удлинитель измерительного инструмента для измерения образцов очень большого размера

- возможен выбор методики измерения: лазерная (SE 400-300), спектроскопическая (SE 800-300).

- Прибор SE 500-300 состоит из эллипсометра SE 400-300 и Зонда определения толщины пленки Film Thickness Probe FTPadvanced, установленные в автоколлимирующем телескопе

Спецификация

  SE 400-300
          -    длина волны лазера: 632.8, (опция: 405 или 1550 нм)

  SE 500-300
          -    длина волны лазера: 632.8, фотометра: 450-925 нм

  SE 800-300
          -     диапазон длины волн: 350 – 850 нм
          -    угол отражения: 70⁰

Опции

- масштабный столик (х-у, 300 мм, при необходимости и большего размера)

- камера для выравнивания образцов и непрерывного мониторинга

- автофокус

- маскирующая насадка для уменьшения диаметра луча