Лазерный эллипсометр SE 401

- фиксированная длина волны

-  Высокостабильный анализатор поляризации отражённого пучка

-  Высокий уровень воспроизводимости

- Долговременная стабильность при измерении эллипсометрических углов

- Быстрое выведение результатов

- ПО на базе Windows

- Прибор позволяет отслеживать кинетические процессы (напр. наращивание, травление)  в однослойных  пленках в режиме реального времени в различных условиях

Спецификация

   -         длина волны лазера 632.8 нм

   -         мин. время измерения y и D– 80 мсек.

   -         Набор переходников для установки прибора на реакторной камере

   -         Регулировка фокуса лазера по высоте

   -         Увеличительный окуляр

Опции

   -         инструмент для установки и смены насадок эллипсометра

   -         дополнительная длина волны (450 или 1550 нм)

   -         гониометр (шаг изменения угла наклона - 5⁰, столик для образцов на 150 мм в поперечнике)