| Длина
волны |
632,8
нм гелиево-неоновый лазер (<1мВ) |
| Точность
y и D (определяется как стандартное отклонение на 30 измерений
при угле 900) |
0.0020
0.020
|
| Долговременная
стабильность: (измеряется за 1 час при угле 900) |
dy=
± 0.010
dD=
±0.10
|
| Точность
измерений толщины пленки: |
0.01
нм на 100 нм SiO2 на Si |
| Точность
измерения индекса преломления |
5х10-4 на
100 нм SiO2 на Si |
| Диапазон
измерений для прозрачных пленок |
до
4 мкм |
| Диапазон
измерений для слабо абсорбирующих слоев (полисиликон) |
до
2 мкм |
| Время
измерений |
120
мили сек. – 1,5 сек (в зависимости от режима измерений) |
| Замедляющее
устройство |
Высокостабильное
замедляющее устройство, высокая точность для значений D близкая
к 00 и1800 |
| Диаметр
светового пятна |
1
мм |
| Угол
наклона (падения луча) |
Гониометр
с ручным управлением 400-900, шаг
изменения наклона 50 |
| Выравнивание
образца |
Автоколлиматический
телескоп (АСТ) для регулировки наклона высоты образца
Опция:
автофокус
|
| Столик
для измерений |
Фиксированный
столик (зона, наклон) для подложек размером 150 мм.
Опции:
-
вращающее устройство на 3600,
-
вакуумная присоска,
-
масштабный столик с осями х,у: 50х50 мм с приводом, 150х150
мм с приводом или ручным управлением, 200х200
мм с приводом.
|
| Установка
и обслуживание |
Автокалибровка
при угле 900, режим сервиса, включая режим самодиагностики |
| Техническая
поддержка |
Встроенная
программа автоматической технической поддержки для контроля
правильности работы большинства устройств эллипсометра |
| Требования
к ПК |
Pentium,
CD-ROM, мышь, клавиатура, 15'' монитор, ПО Windows, RS 232
интерфейс |
| ПО |
Научно-исследовательская
программа
опции:
ПО моделирования для имитации и оптимизации эллипсометрических
измерений, включая n, k и толщину слоя, библиотека данных для
длины волны 632,8 нм
|
| Измерения,
выполняемые одним нажатием клавиши |
·
D измерение
·
n, k массивного материала
·
толщина монослоев
·
толщина и индекс преломления монослоев
·
толщина и индекс преломления верхнего слоя двойного слоя
|
