Эллипсометр SE 1800

Образец помещается на столик с компьютерным управлением и удерживается вакуумной присоской. Измерения проводятся по заранее заданным точкам. Опция - фокусировка в каждой из точек. Возможно измерение следующих параметров: толщина слоя, шероховатость поверхности, состав материала, оптические параметры (индекс преломления и др.).

Область применения

- автоматизированные измерения

- масштабирование метрических и оптических параметров одно- и многослойных пленок

- производственный контроль процесса напыления пленок

Спецификация

- Диапазон спектра: 350 – 850 нм (Опция: 250 – 850 нм)

- Угол падения: 40⁰ – 90⁰ , шаг изменения угла: 5⁰

- Диаметр светового пятна: 1-4 мм

- Время получения результатов: 1 сек.

- Столик для образцов: масштабированный столик (х-у) для образцов размеров 100-150 мм, с вакуумной   присоской

- Выравнивание образца: регулировка по высоте и наклону, камера для наблюдения за процессом выравнивания и измерения

- Источник света: ксеноновая лампа, 75 Вт

- Детектор: детектор с фотодиодной матрицей, 1024 точки

- Габариты: 1300 х 800 мм

Опции

- Столик для образцов размером 200 мм

- Ахроматический замедлитель с компьютерным управлением

- Поляризатор с компьютерным управлением

- Гониометр с компьютерным управлением, 40⁰ - 90⁰ , минимальный шаг – 0.01⁰

- Насадка для уменьшения диаметра светового пятна, 200 мкм (насадка меньшего размера - по запросу)

- Зонд для измерения толщины пленки

- Автофокус

- Инструмент для предварительного выравнивания образцов

- Устройство для считывания штрих-кода

- Программное обеспечение