Установки плазменного травления и нанесения тонких пленок, измерение тонких пленок
- Sentech Instruments GmbH, Германия
Лазерный эллипсометр для процессных измерений, модель SE401
Спектроскопический автоматический эллипсометр с маскирующей насадкой для уменьшения диаметра светового пятна, модель ASE 1800
В начало
